MEMS傳感器在磁浮領域的應用

MEMS加速度計在磁浮領域的應用　　

　　隨著現代集成電路工藝的不斷發展,微硅加速度計得到了迅猛發展,在現有加速度計工業中,其發展潛力最大。目前MEMS微加速度計正朝著磁懸浮與電懸浮兩個方向迅猛發展。這種加速度計體積小、重量輕、成本低、功耗小、可靠性高,極容易進行批量生產。

　　間隙傳感器讓長沙懸浮列車的間隙僅為8毫米磁浮列車完全靠懸浮力支撐車體，其在運行中要保持平穩快速前行是一道技術難題。為此，科研人員發明了能夠保證磁浮車輛恒定懸浮的間隙傳感器。每個懸浮架的4組傳感器會根據列車運行情況，以每秒10000次的頻率檢測平衡度，若有一個點平衡失調，系統會根據具體情況做出調節以達到平衡，以消除車輛在運行中上下顛簸不平的可能，增強了乘車安全感。

　　在這項數字化懸浮控制新技術中，傳感器能夠讓懸浮高度誤差控制在0.2毫米內。列車浮起后，轉向架負責掌控方向，控制器在接收到傳感器數據后，全盤指揮。整個控制過程以每秒鐘約萬余次的頻率進行，從而確保列車在8毫米懸浮高度上飛奔。